Ikeda Lab.

Publications

対外発表など

  • 吉田 育生, 浅田 邦博, and 菅野 卓雄, (in Japanese) "縮小CMOS,nMOSインバータの性能評価," 電子通信学会半導体・トランジスタ研究会, SSD83-27, 1983,
  • 羽路 伸夫, 浅田 邦博, and 菅野 卓雄, (in Japanese) "捕獲断面が分布したモデルでのSiO2中のトラップ面密度の算出法," 1983年(昭和58年)秋季第44回応用物理学会学術講演会, 29pO1, 1983,
  • クライソン・トロンナムチャイ, 物井 誠, 浅田 邦博, and 菅野 卓雄, (in Japanese) "低不純物密度SOI構造MOSFETのニアシュレッショルドにおける簡易モデル," 電子通信学会半導体・材料部門全国大会, No.71, 1983,
  • 浅田 邦博, 森田 真司, and 菅野 卓雄, (in Japanese) "区間的線形等価回路に基づくLSIセル形状の最適化手法," 電子通信学会半導体・材料部門全国大会, No.152, 1983,
  • 浅田 邦博, 森田 真司, and 菅野 卓雄, (in Japanese) "MOS集積回路用セルレイアウトの最適化手法," 東京大学工学部総合試験所年報, 42巻,p.59, 1983,
  • 菅野 卓雄, 浅田 邦博, and 中野 義昭, (in Japanese) "反応性イオンエッチングプラズマ中のイオン質量分析," 東京大学工学部総合試験所年報, 42巻,p.81, 1983,
  • K. Asada and T. Sugano, "Automatic Deconvolution in DLTS Signals Analysis," The Transaction of the IECE of Japan, Vol.E65,No12,pp.745-749, Dec. 1982,
  • グェン ニユット, 浅田 邦博, 大山, 斉藤, and 猪瀬, (in Japanese) "環状結合網を用いた分散型データフロー計算機の一方式," 電気通信学会論文誌, Vol.J65-D,No.12,p.1528, Dec. 1982,
  • K. Asada and T. Sugano, "Simple microcomputerbased apparatus for combined DLTS-C-V measurements," Review of Scientific Instruments, Vol.53,No.7,pp.1001-1006, Jul. 1982,
  • Y. Nakano, K. Asada, and T. Sugano, "Dwtection of Ions in Reactive Etching Plasma Using QMS Without the Ionizer," 第6回イオン源とイオンを基礎とした応用技術, p.241, Jun. 1982,
  • 中野 義昭, 浅田 邦博, and 菅野 卓雄, (in Japanese) "一部改造した四重極質量分析計によるRIEプラズマ中のイオン質量分析," 電子通信学会半導体・トランジスタ研究会, SSD82-47, 1982,
  • 飯島 晋平, 松本 比呂志, 浅田 邦博, and 菅野 卓雄, (in Japanese) "反応性イオンエッチングにおけるプラズマの発光分析とSiおよびSiO2のエッチング速度との関連," 電子通信学会半導体・トランジスタ研究会, SSD82-48, 1982,
  • 菅野 卓雄, 浅田 邦博, and 葉 清発, (in Japanese) "ビーム・リソグラフィにより導入されるSiO2中の中性トラップ," 東京大学工学部総合試験所年報, Vol.41,p.111, 1982,
  • 菅野 卓雄, 浅田 邦博, and 松本 比呂志, (in Japanese) "SiF4ガスを用いたリアクティブ・イオン・エッチング," 東京大学工学部総合試験所年報, Vol.41,p.105, 1982,
  • 浅田 邦博 and 菅野 卓雄, (in Japanese) "DLTS信号の自動処理," 1981年(昭和56年)秋季第42回応用物理学会学術講演会, 9p-C-1, 1981,
  • 松本 比呂志, 浅田 邦博, and 菅野 卓雄, (in Japanese) "スタンフォード大学プロセスシミュレータ SUPREMについて," 電気学会研究会資料:電子デバイス,システム,制御合同研究会, EDD 81,p.1, 1981,
  • 浅田 邦博 and 菅野 卓雄, (in Japanese) "計算機を用いたDLTS測定の自動化," 1981年(昭和56年)春期第28回応用物理学関係連合講演会, 30a-L-8, 1981,
  • 浅田 邦博 and 菅野 卓雄, (in Japanese) "ディジタル化した高速DLTS測定装置の試作," 応用物理学会応用電子物性分科会研究報告, 1981,
  • 菅野 卓雄 and 浅田 邦博, (in Japanese) "ディジタル化自動DLTS測定装置の試作," 東京大学工学部総合試験所年報, 40巻,p.83, 1981,
  • 菅野 卓雄 and 浅田 邦博, "Introduction to VLSI Systems," 培風館, 1981,